系统不仅配置进的电子和离子光学系统，还采用了一系列进的技术，可实现简单一致的高分辨率S/TEM和原子探针断层扫描（APT）样品制备，以及质量的内部和三维表征，即使在挑战性的样品上也表现出色。Helios G4 CX DualBeam系统的技术创新结合易于使用、面的 Thermo Scientific AutoTEM ™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。为了获得高质量的结果，需要使用低能离子进行精抛，以大限度地减少样品的表面损伤。Tomahawk聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下进行高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。

产品特点

• Tomahawk离子镜筒实现速、高质量、定位TEM和原子探针样品制备。

• lstar电子镜筒以短时间获取纳米尺度信息。

• 多达6个集成化镜筒内及透镜下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供完整的样品信息。

• 可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取质量、多模态内部和三维信息。

• 小于10nm复杂结构的快速、准确、精确刻蚀和沉积。

• 高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相机实现精确样品导航。

• 集成化样品清洁管理和的DCFI和Thermo Scientific SmartScan ™ 等模式实现无伪影成像。

参数

电子束

• 在工作距离下：

  − 30kV下STEM 0.6nm

  − 15kV下 0.6nm

  − 1kV下 1.0nm

  − 1kV下 电子束减速模式 0.9nm

• 在束重合点：

  − 15kV下 0.6nm

  − 1kV下 2.5nm

• 电子束流范围：0.8pA–100nA

• 加速电压范围：200V-30kV

• 着陆能量范围： 20eV-30keV

• 大水平视场宽度：4mm工作距离下为2.3mm

离子光学

• 大束流Tomahawk离子镜筒

• 离子束流范围：0.1pA–65nA

• 加速电压范围：500 V-30kV

• 两级差分抽吸

• 飞行时间（TOF）校准

• 15 孔光阑

• 大水平视场宽度：在束重合点出为0.9mm

• 离子源寿命至少1,000小时

• 离子束分辨率（在重合点处）：

 − 30kV下 4.0nm（采用统计方法）

 − 30kV下 2.5nm（采用选边法）

探测器

• Elstar 透镜内SE/BSE 探测系统（TLD-SE、TLD-BSE）

• Elstar 镜筒内SE/BSE 探测系统（ICD）

• Elstar 镜筒内BSE 探测系统（MD）

• ETD–Everhart-Thornley 二次电子探测器

• 样品室红外CCD相机，用于样品台高度观察

• ICE探测器-高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子

• Nav-Cam ™ ： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航

• DBS–可伸缩式低电压、高衬度、固态背散射电子探测器

• STEM 3+ – 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF)

• 集成电子束流测量

样品台和样品

• 灵活五轴电动样品台：

 -XY范围：110mm

 - Z范围：65mm

• 旋转：360°（连续）

• 倾斜范围：-15°到 +90°

• XY重复精度：3μm

• 大样品高度：与优中心点间隔85mm

• 大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托）

• 大样品尺寸：可沿X、Y轴*旋转时直径为110mm（若样品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限）

• 同心旋转和倾斜真空系统

• *无油的真空系统

• 样品仓真空（高真空）：< 2.6 x 10 -6 mbar（24小时抽气后），抽气时间：< 5 分钟样品仓

• 电子束和离子束重合点在分析工作距离处（SEM 4mm）

• 端口：21个

• 内宽：379mm

• 集成等离子清洗

• TL-2500实验室液相色谱流动相加热装置
• 实验室转矩流变仪
• 粉末杂质（离线）分析仪器HF-260/HPE01108
• 粉末杂质（在线）分析仪HF-230/HPE01107
• 鱼眼检测仪HF-390/HPE01109
• WGE000030细胞培养低速搅拌器 （ 一体式 ）
• TFE000024Summit 傅立叶变换显微红外光谱仪
• TFE000019傅立叶变换红外光谱仪