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产品名称: Helios G4 CX DualBeam双束显微镜
产品型号: TFE000049
产品时间: 2020-06-29

客服热线:4008005586

Thermo Scientific™ Helios™ G4 DualBeam™产品系列凭借其聚焦离子束和电子束性能、专有软件、自动化和易用性特征,重新定义了样品制备和三维表征的标试方式。属于业界Helios DualBeam系列的第四代产品,专为满足科学家和工程师的各类分析及研究需求而设计,它将创新的Thermo Scientific Elstar ™ 电子镜筒和Thermo

产品介绍

系统不仅配置进的电子和离子光学系统,还采用了一系列进的技术,可实现简单一致的高分辨率S/TEM和原子探针断层扫描(APT)样品制备,以及质量的内部和三维表征,即使在挑战性的样品上也表现出色。Helios G4 CX DualBeam系统的技术创新结合最易于使用、面的 Thermo Scientific AutoTEM ™4软件(可选)和专业的应用知识,可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。为了获得高质量的结果,需要使用低能离子进行精抛,以最大限度地减少样品的表面损伤。Tomahawk聚焦离子束(FIB)镜筒不仅可以在高电压下进行高分辨率成像和刻蚀,而且具有良好的低电压性能,可以制备高质量的TEM薄片。

 

产品特点

• Tomahawk离子镜筒实现速、高质量、定位TEM和原子探针样品制备。

• lstar电子镜筒以最短时间获取纳米尺度信息。

• 多达6个集成化镜筒内及透镜下探测器,采集优质、锐利、无荷电图像,提供最完整的样品信息。

• 可选AS&V4软件,精确定位感兴趣区域,获取质量、多模态内部和三维信息。

• 小于10nm复杂结构的快速、准确、精确刻蚀和沉积。

• 高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相机实现精确样品导航。

• 集成化样品清洁管理和专用的DCFI和Thermo Scientific SmartScan ™ 等模式实现无伪影成像。

 

参数

电子束

• 在工作距离下:

  − 30kV下STEM 0.6nm

  − 15kV下 0.6nm

  − 1kV下 1.0nm

  − 1kV下 电子束减速模式 0.9nm

• 在束重合点:

  − 15kV下 0.6nm

  − 1kV下 2.5nm

• 电子束流范围:0.8pA–100nA

• 加速电压范围:200V-30kV

• 着陆能量范围: 20eV-30keV

• 最大水平视场宽度:4mm工作距离下为2.3mm

离子光学

• 大束流Tomahawk离子镜筒

• 离子束流范围:0.1pA–65nA

• 加速电压范围:500 V-30kV

• 两级差分抽吸

• 飞行时间(TOF)校准

• 15 孔光阑

• 最大水平视场宽度:在束重合点出为0.9mm

• 离子源寿命至少1,000小时

• 离子束分辨率(在重合点处):

 − 30kV下 4.0nm(采用统计方法)

 − 30kV下 2.5nm(采用选边法)

探测器

• Elstar 透镜内SE/BSE 探测系统(TLD-SE、TLD-BSE)

• Elstar 镜筒内SE/BSE 探测系统(ICD)

• Elstar 镜筒内BSE 探测系统(MD)

• ETD–Everhart-Thornley 二次电子探测器

• 样品室红外CCD相机,用于样品台高度观察

• ICE探测器-高性能离子转换和电子探测器,用于采集二次电子和二次离子

• Nav-Cam ™ : 样品室内彩色光学相机,用于样品导航

• DBS–可伸缩式低电压、高衬度、固态背散射电子探测器

• STEM 3+ – 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF)

• 集成电子束流测量

样品台和样品

• 灵活五轴电动样品台:

 -XY范围:110mm

 - Z范围:65mm

• 旋转:360°(连续)

• 倾斜范围:-15°到 +90°

• XY重复精度:3μm

• 最大样品高度:与优中心点间隔85mm

• 最大样品质量(0°倾斜):2kg(包括样品托)

• 最大样品尺寸:可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm(若样品超出此限值,则样品台行程和旋转会受限)

• 同心旋转和倾斜真空系统

• 完全无油的真空系统

• 样品仓真空(高真空):< 2.6 x 10 -6 mbar(24小时抽气后),抽气时间:< 5 分钟样品仓

• 电子束和离子束重合点在分析工作距离处(SEM 4mm)

• 端口:21个

• 内宽:379mm

• 集成等离子清洗

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TFE000049TFE000049Helios G4 CX DualBeam双束显微镜 Helios G4 CX DualBeam

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