Verios SEM提供了研究应用所需的灵活性，可容纳大型样品，例如整片晶圆或冶金样品。Verios SEM可在1至30 kV能量范围内以亚纳米级分辨率提供精确的成像。它提供了在各种应用中对材料进行精确测量所需的出色对比度，而又不影响传统SEM的高通量，分析能力，样品灵活性和易用性。Verios SEM具有*的技术，例如用于提高热稳定性的定焦镜和用于更高偏转线性的静电扫描。在选择参数，处理大型样品或支持其他应用程序（例如分析或光刻）时，它非常灵活。利用Verios XHR SEM，偶尔的用户和专家都可以在短的时间内访问准确而完整的纳米级数据。

产品特点

∙ 使用Elstar™单色仪以及优化的光学器件和检测功能，可以在您的样品要求的操作条件下获得准确，真实的纳米级信息：对于非导电样品，其值为500 eV及以下；对于光束敏感样品，则为低剂量操作。

∙ 收集完整的纳米级信息：得益于Elstar*的四重SE / BSE检测和过滤功能，地形和材料形成了对比，得益于我们*的多段STEM技术，在结构上形成对比。

∙ 使用Elstar的精确静电束偏转和先进的校准方法，可以依靠远远超出普通SEM的精确计量。

∙ 体验快速，精确的样品管理：容纳大型样品，可控地清洁样品表面，以极低的放大倍数快速检查并导航到感兴趣的区域。

∙ 使用电子束光刻技术，电子束诱导的材料直接沉积，执行创新且精确的纳米加工，并在上下或倾斜位置检查创建的3D结构。

∙ 发现一个针对简单用户而优化的平台，它具有简单而强大的界面，以及可以依靠仪器的灵活性和扩展控件来针对特定实验精确调整仪器的SEM专家。 

参数

 电子光学器件

Elstar XHR 浸没透镜 FESEM 镜筒

∙ Elstar 电子枪，配有：

  - 肖特基热场发射体

  - 热拔插功能

  - UC 技术（单色仪）

∙ 60 度双物镜（带极片保护）

∙ 加热的物镜孔隙

∙ 静电扫描

∙ ConstantPower™ 透镜技术

源寿命

∙ 电子源寿命：12个月

电子束分辨率

（需要现场调查以保证分辨率规格）

∙ 工作距离下的分辨率

  - 30 kV 时为 0.6 nm (STEM)

  - 15 kV 时为 0.6 nm

  - 2 kV 时为 0.6 nm

  - 1 kV 时为 0.7 nm

  - 500 V 时为 1.0 nm (ICD)

  - 200 V 时为 1.2 nm (ICD)

大水平场宽

∙ 电子束：在 4 mm 工作距离下大于2.0 mm

实际到达能量范围

∙ 20 eV - 30 keV

探针电流

∙ 电子束：0.8 pA - 100 nA

真空系统

∙ 1 x 210 l/s TMP

∙ 1 x PVP（干式泵）

∙ 2 x IGP

∙ 样品仓真空：< 2.6 * 10-6 mbar（24小时抽气后）

探测器

∙ Elstar 透镜内 SE 探测器 (TLD-SE)

∙ Elstar 透镜内 BSE 探测器 (TLD-BSE)

∙ Elstar 镜筒内 SE 探测器 (ICD)

∙ Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)

∙ Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD)

∙ 用于查看样品/镜筒的 IR 摄像头

∙ 安装在样品仓的 Nav-Cam+™

∙ 伸缩式低压、高衬度固态背散射电子探测器 (DBS)

∙ 带有 BF/DF/HAADF 分段的伸缩式

STEM 探测器*

∙ 集成电子束电流测量

样品仓

∙ 4 mm 工作距离下的电子束和EDS 重合点

∙ 21 个端口

超高精度 5 轴压电式电动载物台

∙ X、Y = 100 mm

∙ Z ≥ 20 mm

∙ T = - 10°至 + 60°

∙ R = n x 360°行程

∙ X、Y 可重复性 0.5μm

∙ X、Y 准确度 < 1.5μm，85% 容差区间

∙ 机械式倾斜共心载物台，倾斜角度为 0°到 52°时图像移动小于5μm

∙ 中心旋转和倾斜

样品尺寸

∙ 大尺寸：直径 100 mm，旋转

∙ 大样品厚度（通过装载锁）：19 mm（含支架）

∙ 大样品厚度（通过样品仓门）：27.8 mm（含样品支架）

∙ 重量：200g（含支架）

样品支架

∙ 多样品台支架

∙ 多样品切片支架

∙ 单样品台底座，直接安装在载物台上

∙ 根据要求提供各种晶圆和定制支架

∙ 配备 -50V至-4 kV 的载物台偏置的电子束减速

∙ 集成的快速电子束熄灭装置

图像处理器

∙ 驻留时间范围为 0.025 到25000 μs/像素

∙  6144 x 4096 像素

∙ 文件类型：TIFF（8、16、24 位）、BMP或JPEG

∙ 单帧或四象限图像显示

∙ SmartSCAN（256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描）和DCFI（漂移补偿帧积分）

系统控制

∙ 32位GUI（使用 Windows® XP）、键盘、光电鼠标

∙ 两台 24 英寸宽屏 LCD 显示屏，WUXGA 1,920 x 1,200像素

∙ 显微镜控制和支持计算机无缝共用一个键盘和鼠标

∙ 操纵杆

∙ 多功能控制台

∙ 远程控制

• TL-2500实验室液相色谱流动相加热装置
• 粉末杂质（离线）分析仪器HF-260/HPE01108
• 粉末杂质（在线）分析仪HF-230/HPE01107
• 鱼眼检测仪HF-390/HPE01109
• WGE000030细胞培养低速搅拌器 （ 一体式 ）
• TFE000024Summit 傅立叶变换显微红外光谱仪
• TFE000019傅立叶变换红外光谱仪
• 1.09751.0001Nove 60多参数水质分析仪