5XHRSEM提供了研究应用的所有灵活性，以容纳大样本，如全晶片或冶金样品，执行快速分析由于其高电流模式或工作在精密原型应用，如电子束诱导直接沉积材料或光刻。在半导体和数据存储市场，Verios 5XHRSEM性能显着扩展了SEM的能力，为基础研究、工艺和材料开发、过程控制和失效分析提供了完整的解决方案。它提供了准确的，可重复的测量结果，即使在敏感的材料。5XHRSEM的特点是行业性能，而不影响高吞吐量、样品灵活性和传统SEM的易用性。

产品特点

∙ 使用UC +的纳米材料图像分辨率，这是一种单色电子源，可实现1-30 kV的亚纳米性能。

∙ 敏感材料上的对比度，具有低至20 eV着陆能量的出色性能，高灵敏度的柱内和透镜下方检测器以及用于低剂量操作和对比度选择的信号过滤。

∙ 使用具有SmartAlign和FLASH技术的同类Elstar电子色谱柱，为任何经验水平的用户提供短的纳米级信息。

∙ 使用ConstantPower镜头，静电扫描和两个压电位移台的选择，可获得一致的测量结果。

∙ 大腔室附件的灵活性。

∙ 使用AutoScript 4软件（基于Python的可选应用程序编程接口）进行无人值守的SEM操作。

参数

 电子光学系统

∙ 二次电子分辨率：优于0.6 nm (2kV – 15kV范围内)；0.7 nm@1kV；1.0nm@0.5kV；1.2nm@0.2 kV (保证客户现场验收)

∙ 放大倍率：40 ～ 900,000倍

根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准

∙ 加速电压：0.05 ～ 30 kV，着陆电压：0.02 ～ 30kV

∙ 电子枪：带电子束单色器技术的超高亮肖特基场发射电子枪

∙ 电子束流：0.8pA ～ 100 nA，连续可调

∙ 60°锥度物镜几何设计，恒功率双物镜系统（电磁透镜和静电透镜）

∙ 自动式物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑，15孔可调光阑

样品室

∙ 样品室：可容纳样品直径100 mm, 21个附件接口

∙ 可安装冷冻样品台附件

∙ 样品台：五轴马达驱动超高精度样品台，移动范围指标：

 -X/Y≧100 mm, Z ³ 20mm,

 -X/Y重复精度：0.5μm，连续旋转：R=720° 倾斜角

T：范围不小于-10º～+60º

∙ 配置电子束减速模式，-50V至-4KV

∙ 探测器：

∙ Through-lens SE detector (TLD-SE) (透镜内二次电子探测器)

∙ Through-lens BSE detector (TLD-BSE) (透镜内背散射电子探测器)

∙ Elstar in-column SE detector (ICD) (镜筒内二次电子检测器)

∙ Elstar in-column BSE detector (MD) (镜筒内背散射电子探测器)

∙ Everhart-Thornley SED (样品室E-T二次电子探头)

∙ Retractable DBS Detector (可拔插式定向背散射探头)

∙ Retractable STEM 3+ Detector (可伸缩扫描透射探头)

∙ 电子束流：电子束流测量

∙ 样品室红外CCD相机

∙ 样品室导航光学探测器

清洁度控制

∙ 配置等离子体清洗器，与电镜软件一体化控制，保证无缝式售后

∙ 冷阱

 真空系统

∙ 无油真空系统

∙ 由一个210L/S前级机械泵，一个涡轮分子泵和两个离子泵组成

∙ 样品室真空度：优于2.6×10^-6 mBar(24小时抽吸之后)

数字图像处理、记录系统

• TL-2500实验室液相色谱流动相加热装置
• 粉末杂质（离线）分析仪器HF-260/HPE01108
• 粉末杂质（在线）分析仪HF-230/HPE01107
• 鱼眼检测仪HF-390/HPE01109
• WGE000030细胞培养低速搅拌器 （ 一体式 ）
• TFE000024Summit 傅立叶变换显微红外光谱仪
• TFE000019傅立叶变换红外光谱仪
• 1.09751.0001Nove 60多参数水质分析仪